Тайваньский научно-исследовательский институт полупроводников

Плейнвью, штат Нью-Йорк — Компания Veeco Instruments Inc. (NASDAQ: VECO) объявила сегодня о том, что Тайваньский научно-исследовательский институт полупроводников, Национальная лаборатория прикладных исследований (TSRI, Narlabs) выбрал систему Veeco Propel® R&D для осаждения органических соединений из паровой фазы (MOCVD) для передовых разработок и сотрудничество, связанное с силовыми и радиочастотными устройствами на основе нитрида галлия (GaN). Платформа Propel с одной пластиной идеально подходит для крупносерийного производства и возможностей 300 мм, а также для исследований и разработок. Эта научно-исследовательская система Propel была установлена ​​в лаборатории TSRI в Синьчжу, Тайвань. Это позволяет совместными усилиями продвигать технологические инновации, а также разрабатывать и демонстрировать технические возможности на развивающихся рынках GaN.

«Система исследований и разработок Veeco Propel имеет уникальную квалификацию для обеспечения производительности и гибкости, необходимых для проведения передовых разработок силовых и радиочастотных устройств», — прокомментировал д-р Чанг-Хонг Шен, заместитель генерального директора, научный сотрудник TSRI. «Мы рады, что эта система исследований и разработок работает на нашем предприятии, и рассчитываем на поддержку со стороны команды Veeco в ближайшие годы».

Система Veeco Propel GaN MOCVD разработана специально для силовых и радиочастотных приложений. Благодаря платформе реактора с одной пластиной система наносит высококачественные пленки GaN для производства высокоэффективных энергетических и радиочастотных устройств. Реактор с одной пластиной основан на технологии Veeco TurboDisc®, включая революционные технологии IsoFlange™ и SymmHeat™, которые обеспечивают однородный ламинарный поток и одинаковый температурный профиль по всей пластине.

«Мы рады, что наша система MOCVD выбрана TSRI для помощи в разработке их передовых энергетических и радиочастотных приложений», — сказал Адриан Девасахаям, доктор философии, старший вице-президент по управлению линейкой продуктов. «Теперь у нас есть несколько технологий, установленных на объекте TSRI, и мы надеемся помочь им максимизировать ценность наших платформ и возможности для технологического сотрудничества».